La technologie MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) est un domaine
passionnant qui exploite les propriétés mécaniques du silicium pour intégrer
des structures sensibles aux vibrations, aux mouvements, à l’accélération et à
l’inclinaison. Cette technologie a ouvert la voie à une nouvelle génération de
capteurs de haute précision, compacts et à des prix compétitifs. Si les
développements microélectroniques traditionnels se caractérisent par une
amélioration progressive des technologies électroniques solidement établies, la
technologie MEMS amène les concepteurs à « penser » en 3D et à
développer un savoir-faire pluridisciplinaire unique associant électricité,
microélectronique et conception mécanique.
Les systèmes MEMS sont fabriqués par un processus de micro-usinage qui
partage des étapes de traitement similaires aux techniques microélectroniques
traditionnelles dont elles sont dérivées. Toutefois, au lieu d’un circuit
électrique élémentaire, cette technologie produit un circuit électrique enrichi
d’une structure mécanique en 3D, la plupart du temps sur un substrat en
silicium. Les marchés de l’automobile, l’industrie, l’électronique grand
public, des télécommunications et du secteur médical tirent pleinement parti de
la technologie MEMS. Celle-ci permet aux applications et produits de se doter
de nouvelles capacités importantes, facilitant leur utilisation tout en
augmentant leur fiabilité pour un coût abordable. Parmi les applications les
plus courantes de la technologie MEMS figurent aujourd’hui les capteurs pour
coussins gonflables (airbags) et les têtes d’impression à jet d’encre.
Les rédacteurs du Journal of Research de ST ont préparé neuf
articles techniques couvrant un large spectre de questions et de solutions dans
le domaine des MEMS. Parmi les sujets abordés dans ce numéro figurent la
caractérisation mécanique des circuits MEMS, les nouvelles filières de
fabrication des MEMS, les commutateurs optiques MEMS, les gyroscopes MEMS et
les circuits MEMS RF.
« De nombreuses applications, sur un grand nombre de marchés, font
appel aux produits micro-usinés. ST, comme les autres fabricants, continue à
étendre son portefeuille technologique et à améliorer sa production »,
déclare Benedetto Vigna, Directeur du Groupe MEMS de STMicroelectronics.
« Pour développer de nouveaux marchés, cette technologie impose aux
pionniers d’adopter une nouvelle approche avec des solutions visionnaires
grâce à l’adoption de nouvelles technologies. Le Journal of Research
de ST est un excellent support pour partager des idées sur des sujets et
des solutions majeurs avec la communauté des chercheurs».
Le Journal of Research de ST a pour vocation de faciliter le partage
et l’échange de connaissances relatives à des domaines, des méthodologies et
des solutions en matière de recherche. Le Journal of Research de ST est
disponible en-ligne à l’adresse http://www.st.com/stonline/press/magazine/stjournal/index.htm.
